Proċess ta 'depożitu ta' fwar kimiku
Il-proċess ta 'depożizzjoni tal-fwar kimiku huwa maqsum fi tliet stadji importanti: il-gass ta' reazzjoni jinfirex mal-wiċċ tas-sottostrat, il-gass ta 'reazzjoni jassorbi fuq il-wiċċ tas-substrat, reazzjoni kimika sseħħ fuq il-wiċċ tas-substrat biex tifforma depożitu solidu, u l-prodotti sekondarji tal-fażi tal-gass jinqalgħu mill-wiċċ tas-substrat. L-iktar reazzjonijiet komuni ta 'depożizzjoni ta' fwar huma: reazzjonijiet ta 'dekompożizzjoni termali, reazzjonijiet ta' sinteżi kimika, u reazzjonijiet ta 'trasport kimiku. Normalment TiC jew TiN huwa depożitat billi jintroduċi TiCl4, H2, CH4 u gassijiet oħra fil-kamra ta 'reazzjoni f'temperatura ta' 850 ~ 1100 ℃, u jifforma kisi fuq il-wiċċ tas-substrat permezz ta 'reazzjoni kimika.