Il-kompożizzjoni tal-wejfer hija s-silikon. Is-silikon huwa raffinat mir-ramel tal-kwarz. Il-wejfer hija ppurifikata bl-element tas-silikon (99.999%). Imbagħad is-siliku pur isir f'ingotti tas-silikon, li jsiru s-semikonduttur tal-kwarz għall-manifattura ta' ċirkwiti integrati. Materjal, tqattigħ huwa l-wejfer speċifikament meħtieġa għall-produzzjoni ċippa. Aktar ma jkun irqaq il-wejfer, aktar tkun baxxa l-ispiża tal-produzzjoni, iżda aktar ma jkunu għolja r-rekwiżiti tal-proċess.
Kisi tal-wejfers
Film tal-kisi tal-wejfers jista 'jirreżisti l-ossidazzjoni u r-reżistenza tat-temperatura, u l-materjal tiegħu huwa tip ta' fotoreżistenti.
Żvilupp fotolitografiku tal-wejfers, inċiżjoni
Il-fluss bażiku tal-proċess fotolitografija. L-ewwel wieħed huwa li tiksi saff ta' fotoresist fuq il-wiċċ tal-wejfer (jew sottostrat) u tnixxef. Il-wejfer imnixxef jiġi trasferit għall-magna litografika. Id-dawl jgħaddi minn maskra u jiproġetta l-mudell fuq il-maskra fuq il-fotoreżista fuq il-wiċċ tal-wejfers biex jikseb espożizzjoni u jistimula reazzjonijiet fotokimiċi. It-tieni ħami jsir fuq il-wejfer espost, li huwa l-hekk imsejjaħ ħami wara espożizzjoni. Wara l-ħami hija reazzjoni fotokimika aktar kompleta. Fl-aħħarnett, l-iżviluppatur huwa sprejjat fuq il-fotoresist fuq il-wiċċ tal-wejfers biex jiżviluppa l-mudell espost. Wara l-iżvilupp, il-mudell fuq il-maskra jitħalla fuq il-fotoresist. Il-kisi tal-kolla, il-ħami u l-iżvilupp kollha jsiru f'żviluppatur omoġenizzanti, u l-espożizzjoni ssir f'magna fotolitografika. L-iżviluppatur tal-kolla u l-magna tal-litografija ġeneralment jitħaddmu online, u l-wejfers jiġu ttrasportati bejn l-unitajiet u l-magni mir-robots. Is-sistema kollha ta' espożizzjoni u żvilupp hija magħluqa, u l-wejfer mhix esposta direttament għall-ambjent tal-madwar biex jitnaqqas l-impatt ta' komponenti ta' ħsara fl-ambjent fuq ir-reazzjonijiet fotoreżisti u fotokimiċi